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測試服務

測試服務

Testing service

SEM（掃描電子顯微鏡）
設備描述：
此設備為緊湊型場發(fā)射掃描電鏡，成像分辨率優(yōu)于10nm。低加速電壓成像，有效減少電荷累積，非導電樣品，無須噴金噴碳處理，便可直接進行觀察。
工藝能力：
?  電子槍：場發(fā)射電子源
?  加速電壓：0.5 to 2 kV
?  束流：0.2 to 1 nA 
?  分辨率：<10 nm （@1kV）
?  放大倍數：250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
?  樣品尺寸：最大 100×60 mm
?  樣品高度：最大 30 mm


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