91久久超乳爆乳中文字幕,少妇无码AV无码一区,后入内射国产一区二区

MEMS加工和傳統(tǒng)機(jī)械加工的區(qū)別

點擊量：2477 日期：2021-11-05 編輯：硅時代

　　在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)都可稱之為MEMS工藝制造，其在半導(dǎo)體和微電子工藝基礎(chǔ)上發(fā)展而來，以光刻，鍍膜，刻蝕，外延，氧化，濺射等許多基本的工藝制造復(fù)雜立體的三維微加工技術(shù)。與傳統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)相比，不僅體現(xiàn)在很小的體積方面，其在力學(xué)，運動學(xué)，材料特性等方面都有巨大差異！?

圖1.1 MEMS工藝制造圖

　　但無論哪種微小原件都離不開光刻，刻蝕，鍍膜三大方面，就是在一個或多個循環(huán)的基礎(chǔ)上形成我們想要得到的元器件，在這個過程中又以光刻技術(shù)最為重要，所有的MEMS工藝都離不開光刻。光刻的好壞直接影響后續(xù)的鍍膜刻蝕等工藝成敗。因此在光刻過程中尤其注意圖形分辨率以及套刻精度等方面的影響。

圖1.2 光刻流程示意圖

上一篇：微納制造可以應(yīng)用在什么哪些領(lǐng)域？

下一篇：MEMS加工的加速度技術(shù)

新聞
公司新聞

聯(lián)系我們
聯(lián)系電話：0512-62996316
傳真地址：0512-62996316
郵箱地址：sales@si-era.com
公司地址：中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)——蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)09棟402室
關(guān)注與分析

微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計

電話：15301560529